等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四中狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
等離子清洗/刻蝕技術(shù)是等離子體特殊性質(zhì)的具體應(yīng)用:
等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來(lái)愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時(shí)會(huì)發(fā)出輝光,故稱之為輝光放電處理。
等離子體清洗的機(jī)理,主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來(lái)看,等離子體清洗通常包括以下過程:無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。 等離子體清洗技術(shù)的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型,均可進(jìn)行處理,對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
等離子體清洗還具有以下幾個(gè)特點(diǎn):容易采用數(shù)控技術(shù),自動(dòng)化程度高;具有高精度的控制裝置,時(shí)間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;由于是在真空中進(jìn)行,不污染環(huán)境,保證清洗表面不被二次污染。
等離子清洗機(jī)已經(jīng)步入人們的視野,也并不陌生了,它應(yīng)用領(lǐng)域之廣是顯而易見的,主要包括:
等離子清洗機(jī)運(yùn)用之一:汽車制造行業(yè):EPDM密封條、植絨和涂層前預(yù)處理,汽車儀表;汽車前燈PP底座,溝槽粘結(jié)前預(yù)處理。
等離子清洗機(jī)運(yùn)用之二:塑料橡膠行業(yè):在生產(chǎn)線上塑料瓶貼標(biāo)簽前處理濕粘系統(tǒng)替代熱熔和擴(kuò)散; PP薄膜單面預(yù)處理穩(wěn)定持久,可用于水基分散性粘結(jié)劑;塑料手機(jī)外殼以及助動(dòng)車外殼,油漆前處理。
等離子清洗機(jī)運(yùn)用之三:光電制造行業(yè):柔性和非柔性印刷電路板觸點(diǎn)清潔LCD熒光燈管“觸點(diǎn)”清潔。
等離子清洗機(jī)運(yùn)用之四:金屬及涂裝行業(yè):鋁的型材進(jìn)行預(yù)處理替代打毛、打底漆,得到穩(wěn)定氧化層;鋁箔去除潤(rùn)滑油--無(wú)濕化學(xué)處理方法;不銹鋼激光焊接前處理。
等離子清洗機(jī)運(yùn)用之五:化纖及紡織行業(yè) :纖維進(jìn)行預(yù)處理速度可達(dá)60米/分;玻璃表面和鏡面粘結(jié)前平面清潔。
等離子清洗機(jī)運(yùn)用之六:印刷及噴碼行業(yè):PP材料,HD-PE絲網(wǎng)印刷,聚酰胺(噴墨印刷)前處理;等等。
等離子清洗機(jī)的主要特點(diǎn)是
1.噴射出的等離子體流為中性,不帶電 ,可以對(duì)各種高分子、金屬、半導(dǎo)體、橡膠、PCB電路板等材料進(jìn)行表面處理。
2. 提高塑料件粘接后剪切強(qiáng)度,例如PP材料處理達(dá)50倍,大部分塑料件處理后可使表面能量達(dá)到72mN/m;
3. 等離子體處理后表面性能持久穩(wěn)定,保持時(shí)間長(zhǎng);
4. 干式方法處理無(wú)污染,無(wú)廢水,符合環(huán)保要求;
5. 可以在生產(chǎn)線上在線運(yùn)行處理,降低成本。
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